【大阪大学ヘリウムイオン顕微鏡の加工観察事例】
マスクの微粒子除去フィルタのヘリウムイオン顕微鏡観察
ヘリウムイオン顕微鏡(HIM)は、電子顕微鏡(SEM)よりも被写界深度が深く、
奥までピントが合った像を得ることができます。
マスクの微粒子除去フィルタの繊維を観察した例です。